鑑於光電科技之應用日趨成熟廣泛，以及世界各先進國家競相投入，台灣亦將光電產業列為科技發展重點之一。
遂於1991年 5月31日，前資政李國鼎先生、前部長趙耀東先生及前國科會主任委員夏漢民先生與籌備處負責人石大成博士， 共同邀集二十多位學界及企業界領袖召開設立「光電科技工業協進會」發起人會議。
同年11月經國科會報請政院核覆同意成立；至1993年 4月13日完成法人登記。
國科會為財團法人光電科技工業協進會的主管機關，成立基金裡政府占四成五，民間企業占五成五。